专利详情

专利名称	一种多层石墨烯的减薄方法
申请号	CN201210382524.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102931055A	公开（授权）日	2013.02.13
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	罗巍;解婧;李超波;夏洋
主分类号	H01L21/04(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/04(2006.01)I
专利有效期	一种多层石墨烯的减薄方法至一种多层石墨烯的减薄方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多层石墨烯的减薄方法，属于石墨烯器件制备技术领域。所述方法包括：将多层石墨烯样品放入等离子体浸没离子注入设备的腔室内；调整等离子体浸没离子注入设备的工艺参数达到预设定的工作范围，向等离子体浸没离子注入设备通入惰性气体；利用等离子体浸没离子注入技术，对多层石墨烯样品逐层溅射减薄；在保护气的作用下，将减薄后的石墨烯样品放入高温退火炉中退火，并冷却至室温。本发明提供的多层石墨烯的减薄方法，能够对多层石墨烯的厚度进行精确调整，尤其是能够对任意厚度的石墨烯进行减薄处理。