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轴锥镜面形的测量装置和测量方法

  • 申请号:CN201210431104.9
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN102901463A
  • 公开(公开)日:2013.01.30
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 轴锥镜面形的测量装置和测量方法
申请号 CN201210431104.9 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN102901463A 公开(授权)日 2013.01.30
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 袁乔;曾爱军;张善华;黄惠杰
主分类号 G01B11/24(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/24(2006.01)I
专利有效期 轴锥镜面形的测量装置和测量方法 至轴锥镜面形的测量装置和测量方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种轴锥镜面形的测量装置和测量方法,该装置由移相干涉仪、平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜组成,其位置关系是:沿所述的移相干涉仪出射光束前进方向依次是所述的平面标准镜、聚焦透镜和平面反射镜,在所述的平面标准镜和聚焦透镜之间设置待测轴锥镜的插口。本发明具有装置结构简单、测量方法操作方便的特点。

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