专利详情

专利名称	一种射频阻抗自动匹配装置及方法
申请号	CN201210392259.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102891661A	公开（授权）日	2013.01.23
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所;北京泰龙电子技术有限公司	发明（设计）人	王佳;刘训春
主分类号	H03H7/38(2006.01)I	IPC主分类号	H03H7/38(2006.01)I
专利有效期	一种射频阻抗自动匹配装置及方法至一种射频阻抗自动匹配装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种射频阻抗自动匹配装置及方法，属于微电子技术领域。所述装置包括：第一及第二真空电容检测机构、第一及第二信号变送器、功率计和单片机。第一、第二真空电容检测机构的输出端分别与第一信号变送器电连接，功率计与第二信号变送器电连接，单片机的输入端分别与第一信号变送器和第二信号变送器的输出端电连接，单片机的控制输出端分别与第一、第二真空电容检测机构的输入端电连接。本发明还提供了一种射频阻抗自动匹配方法。本发明可以使匹配过程自动、迅速，同时兼容人工手动操作，可以实现自动和人工手动操作达到匹配负载的目的。