专利详情

专利名称	环带光子筛及其制作方法
申请号	CN200910083498.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101881844A	公开（授权）日	2010.11.10
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	贾佳;谢常青;刘明
主分类号	G02B5/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/00(2006.01)I;G02B27/42(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	环带光子筛及其制作方法至环带光子筛及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种环带光子筛，该环带光子筛由多条同心的衍射孔环带与多条同心的刻蚀圆环环带交替嵌套而成，且与该环带光子筛中心距离最近的是一衍射孔环带；衍射孔环带的宽度与刻蚀圆环环带的宽度分别由该环带光子筛中心向外逐渐递减，且衍射孔环带的宽度与在远离该环带光子筛中心方向与其相邻的刻蚀圆环环带的宽度相等。这样在波带片的奇数和偶数环带都有透光部分，分别是奇数环的透光孔和偶数环的刻蚀位相环带，或者偶数环的透光孔和奇数环的刻蚀位相环带。每个透光孔的大小和相应的环带宽度相同。本发明同时公开了一种制作环带光子筛的方法。利用本发明，实现了光子筛聚焦衍射光强的提高，即实现了激光束远场衍射斑的主斑能量的提升。