专利详情

专利名称	基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统
申请号	CN201010191175.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101881786A	公开（授权）日	2010.11.10
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	宋国峰;胡海峰;徐云;陈良惠
主分类号	G01Q60/18(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/18(2010.01)I;G01Q60/22(2010.01)I
专利有效期	基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统至基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统，包括：一近场激发样品台，该近场激发样品台包括一悬臂，该近场激发样品台用于放置样品；一半导体微小孔激光器，该半导体微小孔激光器安装于近场激发样品台的悬臂上；一探测器，该探测器位于样品台的下方，与半导体微小孔激光器相对；一信号处理器，该信号处理器的输入端与探测器的输出端连接，用于收集处理探测器的数据；一Z轴控制装置，该Z轴控制装置通过信号处理器控制近场激发样品台的Z轴移动，以便控制半导体微小孔激光器与近场激发样品台的距离；一X-Y扫描装置，该X-Y扫描装置通过信号处理器控制半导体微小孔激光器对近场激发样品台上的样品进行扫描。