专利详情

专利名称	一种反射率综合测量方法
申请号	CN201010608932.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102169050A	公开（授权）日	2011.08.31
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李斌成;曲哲超;韩艳玲
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种反射率综合测量方法至一种反射率综合测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种反射率综合测量方法，步骤为：连续入射激光束被分束为参考光束和探测光束，参考光束被聚焦到光电探测器直接探测，探测光束注入光学谐振腔。在测量反射率大于99％的光学元件时采用光腔衰荡技术，分别测量初始光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ0和加入待测光学元件后的测试光学谐振腔输出信号的衰荡时间τ1，计算得到待测光学元件反射率R。在R值小于99％时采用分光光度技术测量待测光学元件反射率。移走输出腔镜，从测试镜反射的探测光被聚焦到光电探测器探测，同时记录探测光束和参考光束光强信号比值，通过定标进而得待测光学元件反射率R。该反射率测量装置可测量任意反射率光学元件，而且可对大口径光学元件反射率分布实现高分辨二维成像。