专利详情

专利名称	一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置
申请号	CN201110096649.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102168666A	公开（授权）日	2011.08.31
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;李海玲
主分类号	F04B39/16(2006.01)I	IPC主分类号	F04B39/16(2006.01)I;F04B49/10(2006.01)I
专利有效期	一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置至一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种太阳电池制备用的前级真空泵保护装置。所述的保护装置包括金属波纹管(8)、截止阀(9)、两组过滤器(10)和压力检测装置(11)。两组过滤器(10)并联，过滤器(10)进气口的一端通过截止阀(9)与金属波纹管(8)相连，过滤器(10)出气口的一端通过截止阀(9)与前级真空泵(12)相连，每组过滤器(10)的两端均装有截止阀(9)，每组过滤器(10)均连接有压力检测装置(11)，金属波纹管(8)的一端与两组过滤器的进气口截止阀相连，另一端与真空腔体相连。