专利详情

专利名称	用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法
申请号	CN201010612523.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102168944A	公开（授权）日	2011.08.31
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王渤帆;李中梁;王向朝;步扬
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I;G01S17/32(2006.01)I
专利有效期	用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法至用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于绝对距离测量的双频激光干涉仪及其测量方法，该双频激光干涉仪的结构包括光源、光纤耦合器、隔离器、准直器、光电探测器、压电陶瓷、数据采集卡和计算机。所述的光源是两个波长不相等的半导体激光器，且带有光源控制器；光电探测器将接收到的干涉信号转换成电信号输入到数据采集卡内，并通过计算机进行数据处理得到待测距离。本发明干涉仪将线性调频技术与正弦相位调制干涉测量技术相结合，扩大了测量范围，利用相关参数通过求解线性方程组计算干涉信号的相位，从原理上消除了光源的光强调制引起的系统误差，提高了测量精度。