专利详情

专利名称	一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法
申请号	CN200910098711.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101550539	公开（授权）日	2009.10.07
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	汪爱英;孙丽丽;代伟;吴国松
主分类号	C23C14/35(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/35(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I
专利有效期	一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法至一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种在陶瓷阀芯表面沉积防护薄膜的方法，所采用的镀膜机包括真空室、磁控溅射源、线性离子源和兼具公转和自转的工件托架，工件托架安装在真空室内部，其特征在于：包括如下步骤：(1)将陶瓷阀芯在酒精、丙酮溶液中进行超声清洗，干燥后，悬挂固定于工件托架上，使磁控溅射源与线性离子源环绕在陶瓷阀芯周围；(2) 在磁控溅射源上安装由过渡金属制成的金属靶，对陶瓷阀芯进行离子轰击；(3)开启磁控溅射源电源，对陶瓷阀芯进行第一层薄膜沉积；(4)启动线性离子源，对陶瓷阀芯进行第二层薄膜沉积；(5)对陶瓷阀芯进行第三层薄膜沉积。本发明通过对陶瓷阀芯进行三层防护薄膜沉积，可以极大幅度地提高陶瓷阀芯的耐磨密封性能和使用寿命。