专利详情

专利名称	一种真空原子力显微镜及其使用方法
申请号	CN200910030522.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101625303	公开（授权）日	2010.01.13
申请（专利权）人	苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	秦华;刘争晖;钟海舰;樊英民;徐科
主分类号	G01N13/16(2006.01)I	IPC主分类号	G01N13/16(2006.01)I;G12B21/08(2006.01)I
专利有效期	一种真空原子力显微镜及其使用方法至一种真空原子力显微镜及其使用方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明公开了一种真空原子力显微镜及其使用方法，属于微观形貌检测设备领域，其包括电子束发射装置、二次电子探测器、带悬臂梁的探针、压电陶瓷扫描器和反馈控制器。工作时，将电子束照射于探针悬臂梁上，由于探针与样品原子之间的作用力而引起悬臂梁的形变，将产生二次电子信号的变化，通过对该信号进行反馈可控制针尖和样品之间处于恒定作用力，针尖在样品表面逐点扫描，可对样品表面形貌成像。本发明无需引入目前常用的光杠杆系统，克服了常规原子力显微镜应用于真空环境下带来的设计困难，综合两种纳米材料表征手段即原子力显微镜和电子显微镜的优势，可实现对材料从毫米尺度到亚纳米尺度精度的连续测量。