专利详情

专利名称	多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法
申请号	CN200910030342.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101592627	公开（授权）日	2009.12.02
申请（专利权）人	苏州纳米技术与纳米仿生研究所	发明（设计）人	苏瑞巩;张蓓蓓;李宁;程国胜
主分类号	G01N27/414(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/414(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I;H01L21/336(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I;B81C5/00(2006.01)I
专利有效期	多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法至多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	本发明提供一种多通道高灵敏生物传感器的制作集成方法，首先基于 SOI硅片采用自上而下方法制作硅纳米线FET场效应管；继而利用聚二甲基硅氧烷(PDMS)制作出多微流体通道；最后对不同微流体通道中的硅纳米线进行修饰改性，使之修饰上不同的检测抗体或小分子，以检测不同的目标分子。该方法制作的传感器可以用来同时检测不同类型的疾病相关因子(如DNA，RNA，蛋白等)或病毒，具有高灵敏度、稳定、易于集成等特点。