专利详情

专利名称	一种光刻机掩模刀口移动装置
申请号	CN201010200465.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101887218A	公开（授权）日	2010.11.17
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	邢薇;胡松;赵立新;罗正全;马平;徐文祥
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种光刻机掩模刀口移动装置至一种光刻机掩模刀口移动装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光刻机掩模刀口移动装置，采用双层单元、两组独立组件结构，由结构相同的X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置组成，X向狭缝刀口移动装置实现X方向左右独立平动，Y向狭缝刀口移动装置实现Y方向上下独立平动；X向狭缝刀口移动装置和Y向狭缝刀口移动装置装配叠加后分别实现X方向左右、Y方向上下的平动；X向狭缝刀口移动装置或Y向狭缝刀口移动装置由两个刀片夹、两个精密滚珠丝杠、两个丝杠螺母、两个带动杆、两个电机、两个联轴节、两个光栅、一台计算机和一个掩模台组成。本发明能够实现掩模不同位置、并形状大小可自动控制调节的照明区域。