低频振动测量装置
- 申请号：CN200910106373.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：深圳先进技术研究院
- 公开(公开)号：CN101526394
- 公开(公开)日：2009.09.09
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 低频振动测量装置 | ||
| 申请号 | CN200910106373.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN101526394 | 公开（授权）日 | 2009.09.09 |
| 申请（专利权）人 | 深圳先进技术研究院 | 发明（设计）人 | 彭本贤;俞挺;于峰崎 |
| 主分类号 | G01H11/06(2006.01)I | IPC主分类号 | G01H11/06(2006.01)I;G01V1/20(2006.01)I;H01L27/06(2006.01)I |
| 专利有效期 | 低频振动测量装置 至低频振动测量装置 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及一种低频振动测量装置，包括振动传感器和CMOS芯片，所述 振动传感器集成在所述CMOS芯片上，所述振动传感器是包含敏感单元的微电 子机械系统(MEMS)，其中敏感单元包括含有空气栅介质和浮栅的场效应管， 与浮栅相对设置有感应振动的包含有金属栅极的质量块，质量块的振动引起浮 栅与金属栅极间耦合电容的变化，导致场效应管漏极电流变化，通过测量电流 就可以获知振动信息，此外利用浮置的栅极与漏极的耦合电容增加跨导，从而 提高灵敏度，达到测量低频振动的目的。 | ||
交易流程
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专利 -
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