专利详情

专利名称	一种真空隔断阀
申请号	CN200910088045.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101604609	公开（授权）日	2009.12.16
申请（专利权）人	北京中科科仪技术发展有限责任公司	发明（设计）人	刘亚琪;孙占峰
主分类号	H01J37/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/02(2006.01)I;F16K3/18(2006.01)I;F16K3/316(2006.01)I;F16K31/124(2006.01)I;H01J37/26(2006.01)I
专利有效期	一种真空隔断阀至一种真空隔断阀	法律状态	授权
说明书摘要	一种真空隔断阀，包括驱动杆，驱动杆前端滑动地设置在阀体内腔中；密封板，具有设有密封介质的密封面，设置在阀体内腔中，能够与在阀体内腔中的真空通道内端成型的端口周围内壁结合或脱离，以封闭或导通真空通道；驱动机构，设置在驱动杆与密封板之间，用于驱动密封板靠近或远离所述端口；还包括移动方向限制机构，设置在阀体与密封板之间，用于引导密封板在靠近端口周围内壁的移动部分，沿垂直于所述端口周围内壁的方向运动，限制密封面与端口周围内壁之间的相对滑动。采用移动方向限制机构，有效避免隔断或打开时密封部件间的磨擦位移，减少磨损，杜绝划伤，驱动杆强度高不弯曲持久耐用，有效降低维护维修成本，保障电镜性能与安全。