专利详情

专利名称	高精度纳米级氧化物晶体台阶标准样品的制备方法
申请号	CN200910078241.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101813580A	公开（授权）日	2010.08.25
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	张建秀;李如康
主分类号	G01N1/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01N1/28(2006.01)I;G01N13/16(2006.01)I
专利有效期	高精度纳米级氧化物晶体台阶标准样品的制备方法至高精度纳米级氧化物晶体台阶标准样品的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及的高精度纳米级氧化物晶体台阶标准样品的制备方法，其步骤如下：1)用X射线定向仪对氧化物晶体的各个自然显露面进行定向，确定各个自然显露面的晶面米勒指数，选择氧化物晶体的一个自然显露面为自然显露面基面；2)按平行于该自然显露面基面的方向切割氧化物晶体，得到具有自然显露面基面和切割显露面的方形氧化物晶体；3)对方形氧化物晶体的切割显露面进行研磨并抛光，使该切割显露面与自然显露面基面平行，然后利用原子力显微镜在方形氧化物晶体的自然显露面基面上寻找台阶，得到高精度纳米级氧化物晶体台阶标准样品。该方法制作的台阶高度标准样品具有稳定性好、台阶高度范围宽、操作简单、成本低、精度高等优点。