专利详情

专利名称	多孔硅气体检测装置
申请号	CN201010553784.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102478501A	公开（授权）日	2012.05.30
申请（专利权）人	中国科学院深圳先进技术研究院	发明（设计）人	陈清伟;蔡林涛;李莎
主分类号	G01N21/25(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/25(2006.01)I;G01N27/00(2006.01)I
专利有效期	多孔硅气体检测装置至多孔硅气体检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种多孔硅气体检测装置，包括多孔硅微腔晶体、测试腔、光纤光谱仪和电信号检测系统，测试腔与多孔硅微腔晶体密封配合连接，多孔硅微腔晶体表面露于测试腔的内部，光纤光谱仪用于检测和记录多孔硅微腔晶体的光学信号，电信号检测系统与多孔硅微腔晶体连接用于检测并分析多孔硅微腔晶体的电信号。采用测试腔与单晶硅直接组成测试腔体，无需复杂加工过程，易于实现，价格低廉，便于推广应用；同时，通过多孔硅微腔的表面功能化修饰，并将多孔硅光学信号和电学信号检测结合起来实现对有害气体的同步检测，再进行多参数的集成分析，快速且准确度高。