专利详情

专利名称	微机械磁场传感器及其应用
申请号	CN201210470215.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102928793A	公开（授权）日	2013.02.13
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	熊斌;吴国强;徐德辉;王跃林
主分类号	G01R33/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01R33/02(2006.01)I;B81B3/00(2006.01)I
专利有效期	微机械磁场传感器及其应用至微机械磁场传感器及其应用	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种微机械磁场传感器及其应用，所述微机械磁场传感器至少包括：谐振振子对和依次形成于其表面上的绝缘层及金属线圈。本发明利用差分电容激励和电磁感应来测量磁场大小，其中，构成谐振振子对的两个谐振振子结构工作在反相位模式，各该谐振振子结构上的金属感应线圈环绕方向相同，两个谐振振子结构上的金属感应线圈产生的感应电动势相互串联；由于驱动信号是差分信号，消除输出信号中的容性耦合信号，以获得单纯的磁场输出信号；同时，本发明利用耦合结构将两个谐振振子结构耦合起来使两个谐振振子结构连接为一体运动；进一步，本发明结构简单，受温度影响小，输出信号大，灵敏度高，检测的准确度高，适合高工作频率。