专利详情

专利名称	一种高精度纳米间距检测装置及检测方法
申请号	CN201210428399.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102927923A	公开（授权）日	2013.02.13
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	鱼卫星;王二伟;王成;孙强
主分类号	G01B11/14(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/14(2006.01)I
专利有效期	一种高精度纳米间距检测装置及检测方法至一种高精度纳米间距检测装置及检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种高精度纳米间距检测装置及检测方法，属于纳米光刻技术领域，为解决现有技术对纳米间距测量精度低的问题，本发明中激光器发出的光线依次经过扩束装置、第一分束器、第二分束器、透镜、透光镜和反射镜；光经过第一分光器时部分光被反射，第一检偏器接收第一分束器反射出来的光线，光线经过第一检偏器后被第一光电探测器接收，第一光电探测器将采集到的信息传给计算机；反射镜反射回来的光线入射到第二分束器，SPR传感器接收第二分束器反射出来的光线，光线经过SPR传感器后入射到第二检偏器上，光线经过第二检偏器后被第二光电接收器接收，第二光电接收器将采集到的信息传给计算机，由计算机得出反射镜的位移量，实现高精度纳米间距检测。