专利详情

专利名称	一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统
申请号	CN201010244780.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101957182A	公开（授权）日	2011.01.26
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	雷柏平;伍凡
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统至一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大口径高陡度光学镜面在线测量系统，包括光纤光源、会聚光路分光系统、可更换式测量光栅、高精度平面反射镜、大口径高陡度光学镜面、数字CCD、计算机信息处理系统。从数值孔径光纤光源发出的光，通过测量光栅后产生一组阴影条纹，这些阴影条纹在经过会聚光路分光系统及高精度平面反射镜后投影到大口径高陡度光学镜面上，而后又被大口径高陡度光学镜面按原光路反射回去，再次经过高精度平面反射镜及会聚光路分光系统时产生另一束光路，并在这束光路中产生出这个光源的共额像。这个像通过数字CCD采集后传输到计算机，由计算机信息处理系统来进行分析处理，通过比较反射回的像与理想像之间的偏差计算出这个大口径高陡度光学镜面面形误差。?