专利详情

专利名称	一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体
申请号	CN201110371868.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102417153A	公开（授权）日	2012.04.18
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	胡放荣;汪力;吴忠安
主分类号	B81B3/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B3/00(2006.01)I
专利有效期	一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体至一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体，包含低阻硅基底、位于低阻硅基底之上的金属层、位于金属层之上的绝缘层、位于绝缘层之上的微开口环和电源引线、位于电源引线之上的锚点和位于锚点之上的微悬臂梁，其特征在于：微悬臂梁一端固定于锚点，且其中心线与微开口环的开口中心线重合；电源引线与微开口环开口边的对边重合。本发明的静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体不仅能够在太赫兹频段产生窄带超吸收，而且可以通过静电驱动微悬臂梁上、下运动来调节开口环开口处的介电常数，进而调节吸收峰的位置。本发明的静电驱动微悬臂梁结构太赫兹频段可调超吸收体在太赫兹波段的超高灵敏度探测器和太赫兹波隐形领域具有十分重要的应用价值。