衍射型环形照明发生器及其制备方法
- 申请号：CN201210124993.4
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号：CN102645853A
- 公开(公开)日：2012.08.22
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 衍射型环形照明发生器及其制备方法 | ||
| 申请号 | CN201210124993.4 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN102645853A | 公开（授权）日 | 2012.08.22 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明（设计）人 | 朱菁;杨宝喜;曾爱军;黄惠杰;胡中华;陈明;肖艳芬 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I;G02B27/09(2006.01)I |
| 专利有效期 | 衍射型环形照明发生器及其制备方法 至衍射型环形照明发生器及其制备方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种用于紫外光刻机离轴照明系统的衍射型环形照明发生器及其制备方法，特点在于其构成包括表面垂直于光轴的第一衍射元件和第二衍射元件，第一衍射元件将平行光束变换成与光轴成一个产生的发散光束与光轴成夹角θ的圆环形发散光束，第二衍射元件将圆环形发散光束变换成圆环形平行光束。本发明可连续调节光瞳面的光强分布尺寸，具有结构简单和加工工艺成熟的特点，能够有效降低光刻机的生产成本。 | ||
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