专利详情

专利名称	玻璃基底光学读出红外传感器
申请号	CN200620125934.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN200981818	公开（授权）日	2007.11.28
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	张青川;董凤良;陈大鹏;伍小平
主分类号	B81B7/02(2006.01)	IPC主分类号	B81B7/02(2006.01);H04N5/33(2006.01)
专利有效期	玻璃基底光学读出红外传感器至玻璃基底光学读出红外传感器	法律状态	授权
说明书摘要	玻璃基底光学读出红外传感器，其特征是采用透可见光而不透红外线的玻璃基底，其上设置具有侧向支撑平面结构的微梁单元，包含热变形机构和红外吸收板；热变形机构为两组，对称设置于红外吸收板两侧，由热隔离梁和热变形梁构成折转式分布；热变形机构以其内侧端连接在红外吸收板两侧、外侧末级梁端通过锚脚站立固定于玻璃基底上；热隔离梁非金属膜；热变形梁是在非金属膜的附着金属膜形成双材料梁；红外吸收板以其反光面为朝着玻璃基底的一面；读出的可见光透过玻璃基底投照在反光面上，红外线直接投照在另一面上。本实用新型消除框架结构，缓解热变形机构和红外吸收板在同一平面层的尺寸矛盾，可以有效提高红外探测灵敏度。