专利详情

专利名称	纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体
申请号	CN200810023612.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101556236	公开（授权）日	2009.10.14
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	侯玉斌;王霁晖;陆轻铀
主分类号	G01N13/10(2006.01)I	IPC主分类号	G01N13/10(2006.01)I;G02B21/00(2006.01)I
专利有效期	纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体至纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明纵横转置全低压低温漂扫描探针显微镜镜体包括探针、样品和并排站立并固定于基座上的两个压电管，探针与样品分别设置于这两个压电管的自由端，探针与样品间的间隙调节方向与两个压电管的轴线方向垂直，两个压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位。本发明是一种把探针与样品间距的调节方向设置成与压电管轴线方向垂直以提高探针-样品间距的调节范围，使得在全部使用小于18V的低电压情况下也能实现以往必须使用大于18V的高电压才能实现的粗逼近、细逼近和对大起伏表面成像的功能，并具有很高热稳定性的扫描探针显微镜镜体。