一种MOS场效应晶体管
- 申请号:CN201010102696.0
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号:CN102142458A
- 公开(公开)日:2011.08.03
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种MOS场效应晶体管 | ||
| 申请号 | CN201010102696.0 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN102142458A | 公开(授权)日 | 2011.08.03 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明(设计)人 | 陈大鹏;梁擎擎 |
| 主分类号 | H01L29/78(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L29/78(2006.01)I;H01L29/51(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种MOS场效应晶体管 至一种MOS场效应晶体管 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提出一种MOS场效应晶体管,包括:衬底;形成在所述衬底中的源极和漏极;和形成在所述衬底之上且位于所述源极和所述漏极之间的栅堆叠,其中,栅介质层采用可变K值介质材料。本发明实施例将可变K值介质材料运用于CMOS器件的栅介质层,通过动态地获得高K值的方法增加栅电容,提高CMOS器件控制短沟道效应能力和开关速度。 | ||
交易流程
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