专利详情

专利名称	双探针同点测量扫描探针显微镜
申请号	CN200710191137.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101458203	公开（授权）日	2009.06.17
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	陆轻铀
主分类号	G01N13/10(2006.01)I	IPC主分类号	G01N13/10(2006.01)I;G12B21/20(2006.01)I
专利有效期	双探针同点测量扫描探针显微镜至双探针同点测量扫描探针显微镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	双探针同点测量扫描探针显微镜利用XY或XYZ压电扫描器、X定位范围增强了的或者增设了XY惯性步进的XY或XYZ压电扫描器，将样品测量点从第一探针送至第二探针附近并通过寻找记号实现第二探针对第一探针测量点的再次测量。两个探针由两个独立的Z定位器来调节它们与样品的间距，使得各探针不干扰另一探针的测量。该设计比现有的移动探针的同点测量技术少一个长程自由度，且双针允许相隔较远，也允许为不同类型探针，所以控制与制作都大为简化、且给出的数据更全面、可靠，意义更广、更深，特别适用于相变、反应动力学和交叉学科的研究。