专利详情

专利名称	全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头及其制造方法
申请号	CN200710191139.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN101226781	公开（授权）日	2008.07.23
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	陆轻铀
主分类号	G12B21/02(2006.01)I	IPC主分类号	G12B21/02(2006.01)I;G12B21/24(2006.01)I
专利有效期	全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头及其制造方法至全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头及其制造方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	全面相消抗温漂扫描探针显微镜探头特征是以并排站立并固定于基座的左右或左中右压电管作为探针与样品支架并通过匹配它们的长度来抵消热胀冷缩对探针-样品间距的纵向分量的影响，横向热漂移的消除则通过匹配左中右压电管与基座的对称性来实现，从而最大程度地抑制温度漂移。其它优点为：对外震动和声波的减缓、极端物理条件兼容等。上述左右或左中右压电管中至少包含一体或分体设置的一个X定位、一个Y定位和一个Z定位以实现探针相对于样品的三维定位。选定一可Z定位的压电管，还可在其自由端通过弹性体以弹力设置质量块构成压电惯性步进器来实现探针-样品粗逼近。压电管的长度匹配以及与基体对称性的匹配也适用于更多压电管的情形。