专利详情

专利名称	偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜
申请号	CN200610097197.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN1963452	公开（授权）日	2007.05.16
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	陆轻铀
主分类号	G01N13/12(2006.01)	IPC主分类号	G01N13/12(2006.01)
专利有效期	偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜至偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明偏置电流型扫描隧道谱仪及扫描隧道显微镜，特征是探针架固定于Z定位器或XYZ定位器一端、样品架固定于基座，探针架和样品架位置可互换，固定在探针架上的探针指向样品架上的样品，电流源连接探针和样品构成的隧道结，该隧道结电压信号输入到缓冲器，由该缓冲器给出输出信号。调节样品－探针间距Z时可测V－Z谱；用交流电流源时可测dV/dI谱；用XYZ定位器时可测等高电压图像。如接入反馈控制器则可测样品恒流等电压图像。本发明利用了隧道结本身既有高阻特性可放大弱电流，且又寄生电容较小可提高带宽，使测量带宽和增益同时获得提高，并能改善灵敏度和信噪比；测量V－Z谱也比现有扫描隧道显微镜更简单、精确。