专利详情

专利名称	一种线性离子束源装置
申请号	CN200920120060.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201400715	公开（授权）日	2010.02.10
申请（专利权）人	中国科学院宁波材料技术与工程研究所	发明（设计）人	汪爱英;代伟;孙丽丽;吴国松
主分类号	C23C14/46(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/46(2006.01)I;H05H1/46(2006.01)I
专利有效期	一种线性离子束源装置至一种线性离子束源装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种线性离子束源装置，包括有：阴极(1)，阳极(2)，阴极(1)和阳极(2)之间形成有电离区域(7)，用于将可电离的气体引导进入所述电离区域(7)的气体供应通道(4)，以及用于在所述电离区域(7)产生磁场分布的磁体(3)，其特征在于：阴极(1) 上开设有一环形缝隙(13)，从而将阴极(1)分割为处于环形缝隙(13)中间的第一阴极(11) 和处于环形缝隙(13)外围的第二阴极(12)，而阳极(2)也呈环形结构，并且阳极(2)置于与阴极(1)的环形缝隙(13)相对应的位置。与现有技术相比，本实用新型提供的装置能在较大尺寸范围内产生连续均匀的离子束流。