专利详情

专利名称	气体激光器及其放电腔
申请号	CN201220209759.7	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202872165U	公开（授权）日	2013.04.10
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	刘斌;丁金滨;张立佳;赵江山;周翊;王宇
主分类号	H01S3/03(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/03(2006.01)I;H01S3/036(2006.01)I;H01S3/22(2006.01)I
专利有效期	气体激光器及其放电腔至气体激光器及其放电腔	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于气体激光器的放电腔以及气体激光器，该放电腔内具有放电电极和风机，所述风机驱动所述放电腔内的气体经过所述放电电极而进行流动，从而形成一个主气流。在所述放电电极的两侧设置有导流板，所述微流道设置有所述导流板上，并且所述微流道的出口朝向所述导流板与所述放电电极之间的间隙。放电腔内还包括有一个预电离装置，其支撑于所述导流板与所述放电电极之间。本实用新型通过在准分子激光器的放电腔中构造微流道结构，从而防止了涡旋气流的产生，减少了放电电极侧面产生的位弧现象，增加了放电稳定性，提高了激光能量，延长了预电离电极寿命。