专利详情

专利名称	一种多级干式真空泵的清洗装置
申请号	CN200820013365.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201200981	公开（授权）日	2009.03.04
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器研制中心有限公司	发明（设计）人	王光玉;秦佰林;房伟;刘在行
主分类号	B08B5/00(2006.01)I	IPC主分类号	B08B5/00(2006.01)I;B08B5/02(2006.01)I
专利有效期	一种多级干式真空泵的清洗装置至一种多级干式真空泵的清洗装置	法律状态	专利权人的姓名或者名称、地址的变更
说明书摘要	本实用新型涉及真空泵清洗技术，具体地说是一种多级干式真空泵的清洗装置，包括减压阀、质量流量控制器、电磁阀及气体管路，减压阀的一端与气体输入端相连，另一端连接有质量流量控制器；气体管路分为封闭独立的第一部分及第二部分，质量流量控制器的输出端分为两路、分别与气体管路的第一、二部分相连接；质量流量控制器与气体管路连接的每一路均设有电磁阀；气体管路中的第一部分与干式真空泵的一级腔体相连接，第二部分分别与干式真空泵的二～五腔体连接。本实用新型对每一级腔体均起到了清洗作用，清洗彻底，具有控制简单、准确，真空度高等优点。