专利详情

专利名称	一种光学元件透过率的测量方法及装置
申请号	CN201210524943.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103018012A	公开（授权）日	2013.04.03
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	周翊;宋兴亮;范元媛;沙鹏飞;赵江山;李慧;鲍洋;张立佳;崔惠绒;王宇
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种光学元件透过率的测量方法及装置至一种光学元件透过率的测量方法及装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种光学元件透过率测量方法和相应的装置。其中方法包括：将特定波长的激光光束进行分束，得到两束激光，使之分别通过一个参考光路和一个测量光路；在测量光路上不放置光学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1，通过测量光路的激光能量为E2；在测量光路上放置元学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1’，通过测量光路的激光能量为E3；根据公式T＝E1E3/E1’E2计算该光学元件的透过率T。本发明的测量方法和装置采用双光路等光程测量，达到了实时在线测量的目的，能够有效地消除光源能量抖动对测量结果的重复性以及对高透过镜片透过率测定的影响，能够对用于任何紫外脉冲激光器的光学元件透过率实现精确且方便的测量。