专利详情

专利名称	渐变反射率镜的镀膜装置
申请号	CN200720074889.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201110900	公开（授权）日	2008.09.03
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	吕国暖;易葵;曾维强;王善成
主分类号	G02B1/10(2006.01)I	IPC主分类号	G02B1/10(2006.01)I;G02B5/08(2006.01)I
专利有效期	渐变反射率镜的镀膜装置至渐变反射率镜的镀膜装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种渐变反射率镜的镀膜装置，安装架与一基板固定相连，在该基板之上通过支撑杆连接电机安装板，该电机安装板上设有两台步进电机，步进电机通过弹性联轴器分别与挡板安装盘旋转轴和基片旋转轴连接，所述的基片旋转轴和挡板安装盘旋转轴的下端分别与夹具支架和挡板安装盘连接，所述的夹具支架与基片夹具连接，在所述的挡板安装盘的相互垂直两直径上和边缘上分别设置第一圆孔、第一小圆孔和第二圆孔、第二小圆孔，第一圆孔用于安装镀制变化厚度层的挡板；所述基板的下方固定一侧板，侧板上的光电开关支架安装一凹槽式光电开关；步进电机通过真空室内的信号接口与室外的步进电机驱动器连接，步进电机驱动器与控制器相连，光电开关与控制器连接。