专利详情

专利名称	离子束流密度和能量的同步测量装置
申请号	CN200720075175.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201102984	公开（授权）日	2008.08.20
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	王聪娟;晋云霞;邵建达
主分类号	C23C14/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/54(2006.01)I
专利有效期	离子束流密度和能量的同步测量装置至离子束流密度和能量的同步测量装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种用于离子源的离子束流密度和能量的同步测量装置，采用磁屏蔽材料制成圆柱形采集筒，在该圆柱形采集筒内设置离子过滤器，在该采集筒的侧壁上及所述的离子过滤器的半圆形和三角形的斜边连接处采用磁屏蔽材料设一引流孔，在离子过滤器的半圆形位置设置碗形电子接收器，在离子过滤器的等腰直角三角形的直角边和斜边位置处设置片状阳离子接收器，该离子过滤器接地而与阳离子接收器和电子接收器绝缘，在该采集筒内两个端面分别设置电磁线圈，该两电磁线圈与该采集筒外的可调恒压直流电源相连，所述的阳离子接收器经第一电阻和第一毫安表接地，所述的电子接收器经第二电阻和第二毫安表接地。本实用新型装置使用简单，操作方便，实用性强。