专利详情

专利名称	靶面焦斑监测装置
申请号	CN200720076826.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201096986	公开（授权）日	2008.08.06
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	任冰强;黄惠杰
主分类号	G02B27/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/00(2006.01)I;G01M11/00(2006.01)I
专利有效期	靶面焦斑监测装置至靶面焦斑监测装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种用于激光打靶的靶面焦斑监测装置，包括平行激光束发射光路、靶面成像光路、光轴对接系统和图像接收系统。所述的平行激光束发射光路用来发射模拟光束，靶面成像光路接收靶面焦斑发出的散射光从而对靶面成像，光轴对接系统实现本实用新型靶面焦斑监测装置的光轴和打靶光束的光轴的对接，图像接收系统用来接收靶面成像光路所成的靶面像并在监视器上显示出来，通过计算CCD摄像机接收到的靶面焦斑图像尺寸，可以精确测定靶面焦斑的实际尺寸。本实用新型装置既能够提供与实际打靶激光束口径相同的平行激光束，同时又可以以较高的放大倍率对靶点进行监测，以提高靶镜的调整精度，从而提高激光打靶的效率。