移相横向剪切干涉仪
- 申请号:CN200720073974.8
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
- 公开(公开)号:CN201096526
- 公开(公开)日:2008.08.06
- 法律状态:授权
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专利详情
专利名称 | 移相横向剪切干涉仪 | ||
申请号 | CN200720073974.8 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN201096526 | 公开(授权)日 | 2008.08.06 |
申请(专利权)人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 王利娟;刘立人;孙建锋;周煜 |
主分类号 | G01J9/02(2006.01)I | IPC主分类号 | G01J9/02(2006.01)I;G01B9/02(2006.01)I;G02B7/18(2006.01)I |
专利有效期 | 移相横向剪切干涉仪 至移相横向剪切干涉仪 | 法律状态 | 授权 |
说明书摘要 | 一种移相横向剪切干涉仪,由第一起偏器、输入平行平板、第二起偏器、第三 起偏器、第一剪切平板、第二剪切平板、输出平行平板、四分之一波片、检偏器、 CCD相机和计算机组成,该移相横向剪切干涉仪为等光程干涉光学系统,剪切量连 续可调,非常适合于短相干长度光束的波前测量,能满足不同光束口径和测量精度 要求的波前检测。 |
交易流程
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