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偏振移相双剪切干涉波面测量仪

  • 申请号:CN200720075604.8
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN201083544
  • 公开(公开)日:2008.07.09
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 偏振移相双剪切干涉波面测量仪
申请号 CN200720075604.8 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN201083544 公开(授权)日 2008.07.09
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 王利娟;刘立人;栾竹;孙建锋;周煜
主分类号 G01J9/02(2006.01)I IPC主分类号 G01J9/02(2006.01)I;G01B9/023(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I;G02B5/30(2006.01)I
专利有效期 偏振移相双剪切干涉波面测量仪 至偏振移相双剪切干涉波面测量仪 法律状态 授权
说明书摘要 一种偏振移相双剪切干涉波面测量仪,该测量仪的构成是沿光束的前进方向依 次包括:第一雅敏平行平板、左下楔形光学平板、左上楔形光学平板、右下楔形光 学平板、右上楔形光学平板、第二雅敏平行平板、偏振移相器、成像镜组和图像传 感器,该图像传感器的输出端接计算机。本实用新型不仅保持了双剪切干涉波面测 量仪的所有特点,而且具有灵敏度高、能精确测量任意对称波面并给出完整波面轮 廓等优点。

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