专利详情

专利名称	一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极
申请号	CN201120352699.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN202307823U	公开（授权）日	2012.07.04
申请（专利权）人	中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心	发明（设计）人	黄成强;汪明刚;陈波;李超波
主分类号	H01L21/67(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/67(2006.01)I;H01J37/02(2006.01)I;H01J37/32(2006.01)I
专利有效期	一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极至一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极	法律状态	专利申请权、专利权的转移
说明书摘要	一种干法刻蚀坚硬无机材料基板等离子体刻蚀机的电极，包括用于与刻蚀腔固定连接的导轨器，所述导轨器内安装有可在其内作升降运动的升降器，所述升降器上固定连接有下电极托盘，所述下电极托盘设置在导轨器的上方，所述下电极托盘包括固定连接的顶盘和底盘，所述顶盘的下部开有圆柱形槽，所述圆柱形槽内固定安装有匀气盘，所述匀气盘与顶盘、底盘之间均设有间隙，所述匀气盘的中心设有将气体通向顶盘的第一通孔，所述第一通孔与冷却气入口连通；所述底盘的底部中心开有第二通孔，所述第二通孔与第一通孔隔离设置，所述第二通孔的底端连接有密封管，所述第二通孔与冷却气出口连通。本实用新型的有益效果：冷却效果好，从而使刻蚀效果好。