专利详情

专利名称	一种右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法
申请号	CN201010578442.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102570977A	公开（授权）日	2012.07.11
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	黄杰;董军荣;杨浩;张海英;田超
主分类号	H03B19/00(2006.01)I	IPC主分类号	H03B19/00(2006.01)I;H01L21/8252(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I
专利有效期	一种右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法至一种右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及微电子中微波电路技术领域，尤其涉及一种基于平面肖特基二极管的右手非线性传输线微波倍频电路及其制作方法。一种右手非线性传输线微波倍频电路，该倍频电路由23节右手非线性传输线单元串联构成，每节右手非线性传输线单元由并联的肖特基二极管和串联的两段相同传输线组成。本发明提供的右手非线性传输线微波倍频电路，优化了电路结构，简化了外围偏置电路；本发明提供的右手非线性传输线微波倍频电路的制作方法，简化相应电路制作工艺，以改善倍频电路的谐波输出功率，增加谐波转化效率，改善窄频带谐波输出特性，增强谐波输出纯度等特性。