专利详情

专利名称	微位移高精度实时干涉测量装置
申请号	CN200720067118.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN201016705	公开（授权）日	2008.02.06
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	何国田;王向朝
主分类号	G01B9/027(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/027(2006.01)I
专利有效期	微位移高精度实时干涉测量装置至微位移高精度实时干涉测量装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种微位移高精度实时干涉测量装置，包括由半导体激光器、准直扩束镜、分束器、参考平板、待测量物体和探测元件组成的泰曼格林干涉仪，其特点是：所述的探测元件的输出端依次串连接实时信号处理电路归一化电路和单片机，该单片机具有相位连续化处理软件，该单片机的输出端与示波器的输入端相连，直流电源和信号源通过调制器与所述的半导体激光器相连接，所述的信号源还与所述的实时信号处理电路相连接。本实用新型的优点是提高了位移测量精度，扩展测量范围，使用时不需要校正，操作简便，可靠性高。