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光学玻璃粗糙度实时检测装置

  • 申请号:CN200620046834.7
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN200965465
  • 公开(公开)日:2007.10.24
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 光学玻璃粗糙度实时检测装置
申请号 CN200620046834.7 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN200965465 公开(授权)日 2007.10.24
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 程骅;沈卫星
主分类号 G01B11/30(2006.01) IPC主分类号 G01B11/30(2006.01)
专利有效期 光学玻璃粗糙度实时检测装置 至光学玻璃粗糙度实时检测装置 法律状态 授权
说明书摘要 一种用于光学抛光机的光学玻璃粗糙度实时检测装置,本实用新型是利用激光的表面散射原理,在光学玻璃被加工的同时,不离开工作台的情况下,通过调整激光光源发出的光束与玻璃待测表面的入射角大于或等于全反射角,将散射光同反射光自然分开,分别测量这两束光的强度,并且转化为电流强度,计算这两束光激发产生的电流强度之比,以精确的计算出待测表面的表面粗糙度。本实用新型是一种无损检测措施,它能够实现环抛机实时地进行无损监测,检测不伤害任何工件,保证具有较高检测精度。

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