专利详情

专利名称	基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置
申请号	CN200620046360.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN200958977	公开（授权）日	2007.10.10
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	李永国;朱健强
主分类号	G01M11/00(2006.01)	IPC主分类号	G01M11/00(2006.01);G01M11/02(2006.01);G01N21/88(2006.01);G01B9/02(2006.01)
专利有效期	基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置至基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种基于单色发光二极管面光源的便携式干涉测量装置，包括一单色发光二极管的面光源，自该单色发光二极管面光源沿光路依次是散射板、第一分光板、标准样板和待检测元件，在所述的第一分光板由标准镜的返回光的反射光路上，依次是第二分光板、物镜和光电探测器，在所述的第二分光板的反射光路上有观察窗口。本实用新型的测量结果既可人工识别，又可通过计算机进行判读。本实用新型装置具有装置轻便、节能、成本低廉、应用广泛、可批量生成等特点，能方便地应用于批量的光学加工过程中的质量控制。