专利详情

专利名称	一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法
申请号	CN201010124758.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102192706A	公开（授权）日	2011.09.21
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	刘新风;闫永丽;宁廷银;裘晓辉
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I;G01B11/08(2006.01)I;G01B11/24(2006.01)I;G01J1/42(2006.01)I
专利有效期	一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法至一种原位测量聚焦激光光斑能量分布的装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种原位测量聚焦激光光束能量分布的装置和方法。该装置由一支架固定在高精度平移台上，该支架的桌面开有固定小孔部件的孔洞；显微镜镜头垂直于小孔部件设置，在桌面开孔的下方设置收集透镜，该收集透镜通过光纤与探测器连接，该探测器获得透射的激光信号输入给数据处理器，测试数据经数据处理器处理得到激光光斑的能量分布图。测量方法是利用显微镜确定小孔的位置，使激光聚焦在小孔位置；调节和设置探测器的曝光时间，根据所设置的步长进行扫描、曝光，数据处理器给出聚焦激光光斑的能量分布图。本发明利用小孔部件扫描激光光斑，将收集到的激光信号耦合到高灵敏、大动态响应范围的探测器上，实现聚焦光斑能量分布的精确测量。