专利详情

专利名称	球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法
申请号	CN201110056028.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102207378A	公开（授权）日	2011.10.05
申请（专利权）人	浙江大学;中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	杨甬英;王道档;陈琛;侯溪;卓永模
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法至球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种球面干涉检测中基于波前差分的高精度调整误差校正方法。本发明解决了高精度球面干涉检测中被测面的倾斜和离焦调整误差难以有效校正的难题。本发明通过干涉仪测得待测球面对应微米量级的两组不同离焦量的原始波面数据，再对该波面数据取差值得到波前差分，根据波前差分的波面拟合对应项系数与离焦项的比值，从原始波面数据中分离出离焦调整误差所引入的高阶像差，最后消去原始波面数据中的常数项、倾斜项、离焦项及其对应高阶像差项，进而实现对倾斜、离焦调整误差的高精度校正。本发明为光学球面，尤其是大数值孔径球面的高精度面形干涉检测提供了一种高精度的调整误差校正方法，并具有极其重要的实际应用价值。