专利详情

专利名称	一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器
申请号	CN200620003832.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2888786	公开（授权）日	2007.04.11
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李含冬;杜小龙;袁洪涛;曾兆权;张天冲;董靖;王喜娜;梅增霞;薛其坤;贾金锋
主分类号	H05B3/20(2006.01)	IPC主分类号	H05B3/20(2006.01);H05B3/03(2006.01);H05B3/12(2006.01);C23C14/50(2006.01);C23C16/44(2006.01)
专利有效期	一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器至一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型公开了一种耐活性氧腐蚀的新型平面线阵辐射加热器，它包括：加热丝支撑盘、加热丝和金属箔电极，加热丝支撑盘上分布有具一定几何排布规律绕线孔阵列，加热丝按照一定绕线规则穿过绕线孔阵列绕至支撑盘上，在支撑盘两端边缘对称分布有两个接线柱插孔，加热丝端线在此与金属箔电极相连形成良好电接触。本实用新型能提供高于 800℃加热温度，且温场均匀。与传统加热丝型加热器相比，由于采用合理几何设计，具有最少的部件，使用及维护成本很低；与商用石墨体加热器相比，使用寿命长，且无碳污染，因此非常适宜氧化物薄膜的生长。