专利详情

专利名称	面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法
申请号	CN201110052825.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102455910A	公开（授权）日	2012.05.16
申请（专利权）人	中国科学院沈阳自动化研究所	发明（设计）人	于海斌;徐皑冬;刘明哲;李正;王锴;金妮;张吉龙
主分类号	G06F9/44(2006.01)I	IPC主分类号	G06F9/44(2006.01)I
专利有效期	面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法至面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种面向IC装备控制软件的GUI平台化实现方法，包括以下步骤：根据不同厂商的IC设备特点开发相应的IC设备驱动模块和绘制GUI平台界面；利用上述IC设备驱动模块将IC装备的监控主机与控制器进行连接，形成通讯网络；IC设备驱动模块通过上述通讯网络读写控制器中的数据，并将数据映射到GUI平台的通用数据层；GUI平台界面利用通用数据层进行数据的实时显示、控制和异常处理，实现IC装备控制软件的GUI平台化。本发明实现了跨平台机制，提高了晶圆制造设备的集群监控能力，可满足用户对相应控制系统的人机界面的灵活组态和配置，使整个生产过程能在短时间内快速组态，保证生产提前启动的需要。