溅射离子泵的电源
- 申请号：CN200520078831.7
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院近代物理研究所
- 公开(公开)号：CN2839301
- 公开(公开)日：2006.11.22
- 法律状态：授权
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专利详情
| 专利名称 | 溅射离子泵的电源 | ||
| 申请号 | CN200520078831.7 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN2839301 | 公开（授权）日 | 2006.11.22 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院近代物理研究所 | 发明（设计）人 | 杨晓天;张军辉;游志明;高大庆;蒙峻;胡振军;张喜平;候生军;张新俊 |
| 主分类号 | C23C14/34(2006.01) | IPC主分类号 | C23C14/34(2006.01) |
| 专利有效期 | 溅射离子泵的电源 至溅射离子泵的电源 | 法律状态 | 授权 |
| 说明书摘要 | 本实用新型为一种用于向抽取高真空的溅射离 子泵供电的电源。本实用新型是将现有电源的输出端改为并联 设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本实用新型可 以同时向至少两台溅射离子泵供电。 | ||
交易流程
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选取所需
专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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