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溅射离子泵的电源

  • 申请号:CN200520078831.7
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院近代物理研究所
  • 公开(公开)号:CN2839301
  • 公开(公开)日:2006.11.22
  • 法律状态:授权
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 溅射离子泵的电源
申请号 CN200520078831.7 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN2839301 公开(授权)日 2006.11.22
申请(专利权)人 中国科学院近代物理研究所 发明(设计)人 杨晓天;张军辉;游志明;高大庆;蒙峻;胡振军;张喜平;候生军;张新俊
主分类号 C23C14/34(2006.01) IPC主分类号 C23C14/34(2006.01)
专利有效期 溅射离子泵的电源 至溅射离子泵的电源 法律状态 授权
说明书摘要 本实用新型为一种用于向抽取高真空的溅射离 子泵供电的电源。本实用新型是将现有电源的输出端改为并联 设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本实用新型可 以同时向至少两台溅射离子泵供电。

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