专利详情

专利名称	加工微/纳米级结构的装置
申请号	CN200420121915.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2818016	公开（授权）日	2006.09.20
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	白晓丹;刘静
主分类号	B22F9/00(2006.01)	IPC主分类号	B22F9/00(2006.01)
专利有效期	加工微/纳米级结构的装置至加工微/纳米级结构的装置	法律状态	授权
说明书摘要	一种加工微/纳米级结构的装置，包括：由透明耐化学腐蚀材料制做的箱体，其内底面上放有带三维移动导轨的加工操作平台；平台上放置温度控制元件；箱体内放置由电、磁和光场控制器控制的可产生电场的金属板式电极、可产生磁场的永磁体/电磁体阵列和由可移动的半导体激光器构成的激光光源和与外置气源相通的气泡发生器；自带电源的控制电路分别与温度控制元件，电、磁和光场控制器和气泡发生器电相连。本装置借助表面活性剂生成或直接产生的气泡，利用其薄液膜的微/纳米级厚度，运用具有二元或多元成分的薄液膜融合过程中发生在微尺度下的化学反应，单独或同时利用反应过程及其生成物，在各种基底表面进行加工，以制造出特定的微/ 纳米级结构。