专利详情

专利名称	一种利用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统
申请号	CN200420122526.9	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2787362	公开（授权）日	2006.06.14
申请（专利权）人	中国科学院理化技术研究所	发明（设计）人	段宣明;董贤子
主分类号	B23K26/08(2006.01)	IPC主分类号	B23K26/08(2006.01);B23K26/06(2006.01);B23K26/067(2006.01)
专利有效期	一种利用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统至一种利用激光在光敏性材料中制有多重周期微结构的系统	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及一种激光在光敏性材料中加工多重周期性微结构系统，该系统包括在激光器输出光路上依次设置分光束装置、汇聚光束装置和样品台；激光器1产生的激光经分光束装置分成N束相干光后到达汇聚光束装置，调节由计算机操纵的三维微移动系统使这些相干光束在汇聚光束装置的后面相交，实现在时间和空间上的相干，形成多重周期结构的干涉条纹作用于放置在样品台的光敏性材料上，通过曝光在光敏性材料中获得多重周期性微结构。本实用新型的系统结构简单、易于实现工业化；使用本实用新型制备在光敏性材料中加工多重周期性微结构的方法工艺简单、时间短、效率高，以及该方法可实现对周期大小和结构花样任意调节，重复性好。