专利详情

专利名称	微小型光纤光谱仪的结构
申请号	CN200520028580.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN2784916	公开（授权）日	2006.05.31
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	吴一辉;贾宏光;周连群;张平;鞠挥;宣明
主分类号	G01N21/25(2006.01)	IPC主分类号	G01N21/25(2006.01);G01N21/01(2006.01)
专利有效期	微小型光纤光谱仪的结构至微小型光纤光谱仪的结构	法律状态	授权
说明书摘要	本实用新型涉及微小型光纤光谱仪的结构，包括：安装槽1、支架2、第一螺纹孔3、第一槽4、第二槽5、光阑6、第三槽7、第四槽8、台阶面9、入口10、第二螺纹孔 11、第三螺孔12、出口13、压盖14、成像反射镜15、准直反射镜16、光栅17、狭缝23，对狭缝坯体氧化、涂胶、光刻形成带凹坑图形，腐蚀、去胶然后涂胶、光刻形成狭缝孔图形，再ICP刻蚀或湿法腐蚀，形成不通透沟槽的狭缝坯体并去胶， ICP刻蚀或湿法腐蚀得到凹坑和狭缝孔。通过采用微机械工艺制备体积微小、价格低廉的狭缝，结构紧凑、体积小的支架，集成化的光阑，使得支架与光学系统形成一体，光学元件准确快速定位和牢固固定，从而实现了空间结构简单、集成化的微小型光纤光谱仪。