专利详情

专利名称	基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置
申请号	CN201110008423.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN102175303A	公开（授权）日	2011.09.07
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	张雪洁;黄伟;刘德安;张燕;刘芳;冯滔;朱健强
主分类号	G01H9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01H9/00(2006.01)I;G02B27/10(2006.01)I;G02B5/10(2006.01)I;G02B1/10(2006.01)I
专利有效期	基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置至基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于球面合作目标的三维振动干涉测量装置，特点在于其构成包括激光器，沿该激光器输出光束的前进方向依次是同光轴的显微物镜、针孔、透镜、分光棱镜、光阑和球面反射镜，所述的针孔固定在所述的显微物镜的焦点位置处，所述的透镜到针孔的距离恰好为透镜的焦距时，透镜所处的位置称为平衡位置，所述的透镜具有在其平衡位置附近沿光轴方向前后移动的调节机构，所述的球面反射镜作为合作目标固定在待测物体的表面上，在所述的分光棱镜的相干光输出面外设有成像装置。本发明将主要光路集成于单块分光棱镜中，结构简单；实现了被测物体振动监测与测量光路变化监测的分离；并且使用球面反射镜作为合作目标，可实现对物体三维振动测量的目的。